출처: http://www.gasnews.com/news/read.php?idxno=42481&rsec=S1N3 디지털 가스신문
NF3 온실가스 지정 논의 배경과 대책
대체가스로 F2 급부상, 장비시장도 확대될 듯
한상열 syhan @ gasnews.com
국내 몇몇 특수가스업체 F2제너레이터 등 속속 개발
F2는 에칭속도 우수하고 GWP 낮아 소자업체 관심
지구온난화를 유발시키는 온실가스의 역습이 특수가스업계에도 들이닥치고 있다.
최근 유엔 기후변화회의에서 대표적인 반도체용 특수가스로 알려진 NF3를 새로운 온실가스로 지정해야 한다는 주장이 나와 국내 특수가스업계의 이목이 집중되고 있다.
NF3의 경우 1997년 교토의정서 체결 당시에는 무시할 수 있는 양이 생산되었기에 온실가스 리스트(CO2, PFCs, CH4, N2O, HFCs, SF6 등 6종)에 포함되지 않았었다.
더욱이 이전 기술로는 NF3의 대기 방출량 측정이 불가능하였으나 캘리포니아대학교 스크립스 해양연구소가 대기 중 NF3 함유량의 최초 측정에 성공한 이후 2006년 4200톤, 2008년 5400톤 등으로 측정됨으로써 매년 11%씩 증가하는 것으로 드러났다.
NF3는 당초 C2F6, CF4, SF6 등 지구온난화지수(GWP)가 높은 PFCs(Prefluoro Carbon) 대체물질로 사용됐으나 제조과정에서 적어도 2% 이상 배출되고 있다고 한다. 그동안 NF3 사용량 증가와 방출량에 대한 정보 부족으로 인해 아직까지 규제물질로 포함되지 않았으나 최근 방출량이 매우 우려스러운 수준으로 증가하면서 많은 과학자들이 포스트 교토의정서에서는 NF3를 온실가스로 포함시켜야 한다는 주장을 해왔다.
특히 지난해 6월 미국 어바인캘리포니아대 연구팀은 반도체 및 LCD텔레비전을 만드는데 사용되는 NF3가 세계에서 가장 큰 화력발전소가 일으키는 지구온난화의 원인보다 더 심각하다고 경고하기도 했다. 또 전 세계적으로 온실가스를 줄이기 위해 확대 보급하고 있는 태양광전지의 비정질실리콘 박막생산에도 NF3가 다량으로 사용되면서 오히려 지구온난화를 부추기는 결과를 낳았다는 지적이 나오기도 했다.
반도체 강국인 우리나라의 경우 NF3의 온실가스 지정도 많은 부담이 되겠지만 국가경제의 급성장과 함께 온실가스 배출량도 세계 9위로 올라 향후 포스트 교토협상에서 의무 감축국에 지정될 가능성이 높아 더욱 큰 문제로 떠오르고 있다.
이처럼 온실가스로의 규제가 국내기업들에게 엄습해 올 경우 배출량을 줄이기 위한 노력은 물론 불가피하게 NF3를 사용하더라도 배출권 구매를 위해 많은 비용이 추가적으로 들어 전자제품의 가격경쟁력이 크게 떨어지게 되고 결국 선진국가의 경쟁에서 밀리는 등 무역장벽까지 작용할 것이 분명하다.
서울산업대 김희준 교수도 “NF3는 사용 초기부터 비싼 가격, 높은 온실화지수로 문제가 제기된 가스”라면서 “NF3의 주요 생산 및 사용국가인 미국, 일본, 우리나라는 물론 대만, 중국, 싱가포르 등에서의 대기 방출량의 급격한 증가로 인해 이제 규제에 들어가는 것은 시간문제”라고 지적했다.
그는 또 “최근 전 세계의 온실가스에 대한 분위기 흐름상 우리나라도 온실가스 발생총량을 줄이기 위한 노력을 기울이지 않을 수 없을 것”이라며 “정부가 가장 먼저 할일은 산업계에 피해를 줄일 수 있는 방안으로 스크러버와 같은 NF3분해시설을 서둘러 확대하고 NF3보다 에칭속도가 우수하고 지구온난화지수가 매우 낮은 불소(F2)로 대체하는 것을 적극 유도할 필요가 있다”고 밝혔다.
이미 일본과 우리나라의 경우 F2를 개발, 사용하고 있다. 현재 국내에는 린데코리아, 솔베이케미칼, 원익머트리얼즈가 F2를 생산, 일부 반도체생산라인에 공급하고 있다.
린데코리아는 충남 아산 인주공단의 대규모 F2제너레이터제조공장에서 1600N㎥/h 및 3200N㎥/h 생산규모의 제너레이터를 생산해 삼성전자, LG디스플레이, 하이닉스 등은 국내기업은 물론 중국에도 수출하고 있다. 반도체 및 LCD관련업체들도 일부 생산라인에 적용, 관심을 갖기 시작했다.
솔베이케미칼은 지난 2007년 울산 온산공단 내에 F2플랜트까지 건설, F2를 비롯해 육불화황(SF6), 불화요오드(IF5), 용융제(Nocolok) 등을 생산, 국내는 물론 중국에도 수출하고 있다.
원익머트리얼즈의 경우 본사가 있는 오창과학단지 내에 2004년 설치한 F2제너레이터를 통해 F2를 생산, 고압용기에 충전한 제품을 반도체 및 LCD제조업체에 공급하고 있다.
당초 국내에서는 F2제너레이터프로젝트를 성원에드워드(린데코리아에 이관)와 아토 특수가스사업부(현 원익머트리얼즈)가 맡아 경쟁적으로 추진해 왔으나 NF3가 대량으로 생산되기 시작하면서 가격이 크게 떨어져 초기 설비투자가 필요한 F2제너레이터의 보급 속도가 늦어졌다. 하지만 NF3가 온실가스로써 규제될 경우 향후 F2가 대체가스로 급부상할 것으로 업계 관계자들은 내다보고 있다.
2009년 04월 06일
